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【朝鮮日報】 素材・部品・設備の国産化「半分は成功」…サムスンが使うフォトレジスト、あと5年は日本に依存 [07/08] [荒波φ★]

171 :<丶`∀´>(´・ω・`)(`ハ´  )さん:2020/07/08(水) 16:20:22 ID:4pyld+uo.net
>>166
EUVってフォトリソグラフィの方式じゃないの?フッ化水素使うのはその後の加工洗浄工程だと思うけど

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